在低真空含氮气氛中，等离子渗氮是以炉体为阳极，处理工件为阴极，在阴阳极之间加上几百伏的直流电压，使氮化处理所产生的辉光放电通过化学热处理工艺进行。离子氮化处理、辉光放电氮化处理、离子轰击氮化处理、等离子体氮化处理等，都是离子渗氮的方法。

　　等离子渗氮的过程：在真空室内进行离子氮化处理，工件负极接高压直流电源，正极接真空钟。把真空室真空抽到66.67Pa之后，把少量氮或氢、氮的混合物充入真空室。氮气即电离分解为氮离子、氢离子和电子，当电压调节到400~800V时，就会在工件表面产生辉光放电。正电荷对工件表面的轰击作用加速，并将工件加热到氮化温度。氮离子在钢件表面得到电子，还原为氮原子，渗入钢件表面并向内扩散，形成了一层氮化层。

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