离子氮化处理后的零件必须进行彻底的清洗，以避免油污、锈斑、挥发物等造成电弧，损坏零件。工件装炉时，间隙必须足够大且均匀，装料过密常常导致温度过高。对于局部性渗氮的零件，在无渗漏部位可以用外罩(凸出部分)或塞子(凸出部分)遮蔽，以避免在该处起辉。在装炉过程中还应注意测温监测热电偶的合理分配。

另外，离子氮化工艺的主要设备是离子氮化炉，通过离子氮化可减少60%~70%的氮化周期，简化工序，减少零件变形，提高产品质量，节省能源，减少环境污染，是近年来发展迅速的热处理工艺。离子氮化装置包括氮化炉，真空系统，供氮系统，电源和温度测量和控制系统。渗氮介质通常是氨气或氢氮混合气体。离子氮化操作要求严格，否则容易引起溢流不均及弧光放电。在30年代时开始进行离子氮化，50年代仅用于炮管的内膛氮化。六十年代推广使用结构钢、工模钢、球墨铸铁、合金铸铁、不锈钢及耐热钢等。可离子氮化的零件包括辊子，锻模，冲模，铣刀，塑料成型机螺杆，柴油机缸套等。

在现代离子氮化技术中，单热源离子氮化是老式产品，已不能满足产品对炉温的均匀性和稳定性要求，必须有双热源离子氮化设备才能满足炉温±5度且可随意控温，目前在航空航天军工等重要领域得到广泛应用。

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